cs200數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，該產(chǎn)品的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照semi標(biāo)準(zhǔn)，相對(duì)模擬產(chǎn)品有使用便捷、可實(shí)現(xiàn)功能多、易于通訊、擴(kuò)展性和可兼容性強(qiáng)等諸多優(yōu)點(diǎn)。 可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（mfm）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。