是一種測量設備,通過發(fā)射一束激光脈沖,在樣品表面激發(fā)表面聲波,對薄膜或者材料表面進行檢測。表面聲波是沿著材料表面?zhèn)鞑サ膹椥哉饎硬ǎ瑥椥孕巫兊姆秶诩{米范圍,因而檢測過程不會對材料本身造成損傷。聲波的穿透深度與其波長相對應,波的能量主要集中在表面,因此它能檢測厚度遠小于波長的薄膜。對于頻率較高的聲波,其波長更短,穿透深度也更小,所以表層薄膜對他的影響也更大。該設備測量不同頻率的聲波的傳播速率與頻率的關系,測量結果以“色散曲線”的形式表現(xiàn)出來。“色散曲線”的形狀取決于薄膜與襯底材料的彈性模量(楊氏模量)、密度,以及薄膜的厚度。通過對測量曲線的與理論曲線的擬合對比,可以得到這些參數(shù)中的一個或者幾個。樣品表面微結構的梯度變化,例如加工層,也可以被檢測。
更新時間:2025-12-25